
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением CDS представляет собой специально разработанное для условий полупроводникового производства решение по взрывозащите, основанное на поддержании избыточного давления. За счет создания внутри шкафа среды с избыточным давлением обеспечивается эффективная изоляция от внешних взрывоопасных газов и пыли, гарантируя безопасную эксплуатацию прецизионных электронных компонентов в опасных зонах.
1. Определение взрывозащищенного шкафа с избыточным давлением:
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением CDS представляет собой специально разработанное для условий полупроводникового производства решение по взрывозащите, основанное на поддержании избыточного давления. За счет создания внутри шкафа среды с избыточным давлением обеспечивается эффективная изоляция от внешних взрывоопасных газов и пыли, гарантируя безопасную эксплуатацию прецизионных электронных компонентов в опасных зонах. Его основная функция заключается в предотвращении воспламенения окружающей взрывоопасной смеси электрическими искрами, а также в обеспечении чистой газовой среды, исключающей загрязнение полупроводникового оборудования.
2. Характеристики продукта:
Маркировка взрывозащиты: Ex db eb ib mb pxb q IIB T4 Gb
3. Механизм защиты избыточным давлением:
Непрерывная подача чистого газа (например, сжатого воздуха или инертного газа) для поддержания стабильного давления внутри шкафа в диапазоне от 50 Па до 500 Па, что эффективно предотвращает проникновение внешних горючих веществ.
4. Интеллектуальный контроль давления:
Оснащен регулирующим клапаном расхода и автоматической системой управления. При повышении давления выше 500 Па срабатывает звуковая и световая сигнализация; при падении давления ниже 50 Па также активируется звуковая и световая сигнализация с выдачей выходного сигнала, при необходимости может быть реализована блокировка с отключением электропитания.
5. Функция предварительной продувки:
Автоматическая вентиляция перед запуском. Для зоны класса 1 необходим обмен воздуха, кратный 7-кратному объему шкафа, для зоны класса 2 – кратный 5-кратному объему. Подача электропитания разрешается только после удаления остаточных горючих газов внутри шкафа.
6. Модульная конструкция:
Поддерживает конфигурацию под заказ, включая систему подачи газа, модули мониторинга давления и сигнальные устройства, адаптируясь к пространственным и функциональным требованиям различного полупроводникового оборудования.
7. Высокая степень защиты:
Соответствует стандартам GB 3836.5-2021 и IEC 60079-2. Обладает степенью защиты не ниже IP55, подходит для использования на открытом воздухе или во влажной среде.