
Широко используется в производстве полупроводников, плоскоэкранных дисплеев и других отраслях в составе систем дозирования химикатов (CDS) или шкафов временной подачи для безопасной подачи сильнокоррозионных химикатов, таких как HF, H₂SO₄, проявители и др.
Широко используется в производстве полупроводников, плоскоэкранных дисплеев и других отраслях в составе систем дозирования химикатов (CDS) или шкафов временной подачи для безопасной подачи сильнокоррозионных химикатов, таких как HF, H₂SO₄, проявители и др.
1. Раздельные каналы: Каналы подачи газа и выдачи жидкости полностью разделены, что исключает перекрестное загрязнение.
2. Коррозионная стойкость и высокая чистота: Корпус выполнен из высокочистых материалов, не выделяющего ионы металлов, что гарантирует сохранение чистоты химикатов.
3. Безопасность и надежность: Многоступенчатая система уплотнений эффективно предотвращает утечки. Соответствует отраслевым стандартам безопасности, таким как SEMI S2.ф