Продукция
Передвижной двухблочный шкаф для подачи химикатов
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для безопасного хранения и бесшовного переключения подачи высокочистых коррозионных химикатов (например, фоторезистов, полировальных суспензий CMP, травителей). Является ключевым компонентом системы дозирования химикатов (CDS).
Описание
маркер
Ключевое позиционирование
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для безопасного хранения и бесшовного переключения подачи высокочистых коррозионных химикатов (например, фоторезистов, полировальных суспензий CMP, травителей). Является ключевым компонентом системы дозирования химикатов (CDS).
Ключевые технические параметры
1. Материал: Корпус из коррозионностойких материалов, таких как PP / нержавеющая сталь. Поверхность гладкая, легко очищается, без гигиенических "мертвых зон". Выдерживает воздействие сильнокоррозионных сред.
2. Конструкция: Модульная компоновка с двумя емкостями (A/B), поддерживающая независимую или параллельную подачу. Обеспечивает бесшовное переключение для непрерывности технологического процесса.
3. Маркировка безопасности: Оснащен предупреждающими знаками "Коррозионное вещество" и "Осторожно! Опасность защемления рук", соответствует отраслевым стандартам безопасности, таким как SEMI S2.
4. Мобильность: Оснащен колесами и регулируемыми опорами, сочетает простоту перемещения с устойчивостью при установке, позволяет гибко адаптироваться к планировке цеха.
5. Класс чистоты: Может комплектоваться высокоэффективной фильтрацией и системой поддержания избыточного давления, соответствует требованиям чистых помещений класса 100/1000, исключая загрязнение микрочастицами и примесями.
Преимущества продукта
1. Надежность и безопасность: Коррозионностойкие материалы и герметичная конструкция эффективно предотвращают утечки химикатов. Конструкция с двумя емкостями обеспечивает бесшовное переключение, избегая остановок технологического процесса.
2. Чистота и контролируемость: Адаптирован для работы в чистых помещениях, встроенная фильтрация и управление воздушными потоками предотвращают попадание микрочастиц и примесей в линию подачи химикатов, гарантируя высокий выход годной продукции.
3. Гибкость адаптации: Модульная компоновка с двумя емкостями поддерживает конфигурацию трубопроводов и клапанов под заказ, обеспечивая быструю интеграцию с существующими системами CDS и удовлетворяя требования различных технологических сценариев.
4. Удобство эксплуатации и обслуживания: Прозрачные смотровые окна позволяют вести мониторинг уровня и состояния химикатов в реальном времени. Наличие колес и регулируемых опор повышает эффективность транспортировки, установки и технического обслуживания.
5. Соответствие стандартам: Отвечает требованиям стандарта безопасности для полупроводникового оборудования SEMI S2-0716 и соответствующим отраслевым нормам, что позволяет успешно проходить строгие проверки и аудиты заказчиков.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Взрывозащищенный воздушный клапан
Взрывозащитный воздушный клапан состоит из корпуса клапана, механизма автоматического закрывания и устройства ручного взвода. Предназначен для изоляции воздуховодов в химических передаточных модулях и других герметичных объемах с потенциально взрывоопасной средой. Представляет собой нормально открытый механизм перекрытия воздуховода, пригодный для использования как на приточных, так и на вытяжных системах вентиляции.
FFU1
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из легкого и коррозионностойкого полипропилена. Адаптирован для применения в чистых средах с высокими требованиями к химической стабильности, таких как полупроводниковая и фармацевтическая промышленность.
VMB Клапанный распределительный шкаф
Представляет собой систему распределения химических растворов, специально разработанную для производства полупроводниковых пластин. Обеспечивает высокоточное распределение высокочистых химикатов (таких как травители, очистители и др.) посредством группы многоходовых клапанов.
FFU2
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из нержавеющей стали 304 или 316 для удовлетворения строгих требований к высокой чистоте, гигиеничности и долговечности в сложных условиях эксплуатации.
Двухклапанный штуцер с донной трубкой для бочки
Широко используется в производстве полупроводников, плоскоэкранных дисплеев и других отраслях в составе систем дозирования химикатов (CDS) или шкафов временной подачи для безопасной подачи сильнокоррозионных химикатов, таких как HF, H₂SO₄, проявители и др.
Трехходовой клапан
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для переключения направления потока и управления подачей сильнокоррозионных химикатов (вкл./выкл.). Является ключевым компонентом систем дозирования химикатов (CDS), шкафов временной подачи и технологических трубопроводов.
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой — это специализированное оборудование для перемещения химикатов с винтовым приводом, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для безопасной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Гидравлическая тележка для бочек с кислотой
Тележка с гидравлическим подъемником для бочек с кислотой — это специализированное гидравлическое оборудование для перемещения химикатов, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для эффективной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Одношкафный блок управления подачей химикатов
Являясь центральным контроллером систем распределения химикатов (CDS) и суспензий (SDS), применяется в прецизионных производственных процессах, таких как производство полупроводников и дисплеев, для точной подачи и интеллектуального контроля агрессивных химических сред.
Система подачи и распределения суспензии
Система подачи и распределения суспензии широко используется в таких областях, как производство интегральных микросхем. Её основная функция заключается в подаче суспензии в точном соотношении для технологического процесса, обеспечивая равномерное распределение жидкости при обработке заготовок, что способствует повышению качества продукции и эффективности производства.
Тележка с ручным гидравлическим зажимом для бочек с кислотой
Тележка с ручным гидравлическим зажимом для бочек с кислотой — это высокоэффективное оборудование для перемещения химикатов, специально разработанное для химической, полупроводниковой и других отраслей промышленности. Она предназначена для погрузки и разгрузки химических бочек и других емкостей на поддоны, а также для их транспортировки на короткие расстояния.
Система распределения специальных газов
Электронные специальные газы являются незаменимым базовым вспомогательным исходным материалом в таких областях, как оптоэлектроника и микроэлектроника, особенно в производстве сверхбольших интегральных схем, жидкокристаллических дисплеев, тонкопленочных солнечных батарей из аморфного кремния, полупроводниковых светоизлучающих приборов и полупроводниковых материалов.
Емкость из HDPE для приготовления растворов
Емкость из полиэтилена высокой плотности для приготовления растворов — это сверхчистая химическая емкость, специально разработанная для полупроводникового производства, предназначенная главным образом для хранения и транспортировки влажных электронных химикатов.
Штуцер для бочки
Поддерживает модульную компоновку с одним / двумя портами (выдача жидкости + подача газа). Погружная трубка имеет скошенный или перфорированный наконечник, обеспечивающий полное опорожнение бочки, предотвращая остатки жидкости и завоздушивание.
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением CDS представляет собой специально разработанное для условий полупроводникового производства решение по взрывозащите, основанное на поддержании избыточного давления. За счет создания внутри шкафа среды с избыточным давлением обеспечивается эффективная изоляция от внешних взрывоопасных газов и пыли, гарантируя безопасную эксплуатацию прецизионных электронных компонентов в опасных зонах.
Система дозирования химикатов
Полупроводниковая CDS (система распределения химических веществ) является ключевой системой подачи высокочистых химикатов в производстве микросхем, обеспечивающей стабильную подачу таких реагентов, как травильные и очищающие растворы, за счет автоматизированного управления.
