
Поддерживает модульную компоновку с одним / двумя портами (выдача жидкости + подача газа). Погружная трубка имеет скошенный или перфорированный наконечник, обеспечивающий полное опорожнение бочки, предотвращая остатки жидкости и завоздушивание.
1. Конструкция: Поддерживает модульную компоновку с одним / двумя портами (выдача жидкости + подача газа). Погружная трубка имеет скошенный или перфорированный наконечник, обеспечивающий полное опорожнение бочки, предотвращая остатки жидкости и завоздушивание.
2. Присоединение: Адаптируется к стандартной горловине бочек с резьбой 2″ BSP/NPT. Верхние порты могут быть изготовлены с соединениями под врезку шарика, под развальцовку, под сварку или быстросъемными, совместимыми с различными PFA/PTFE трубопроводами.
3. Герметичность: Многоступенчатая система уплотнений на основе O-колец в сочетании с прецизионно обработанными поверхностями соединений обеспечивает нулевую утечку. Уровень герметичности по гелиевому течеискателю: < 1×10⁻⁹ mbar·л/с.
4. Область применения: Совместим с сильнокоррозионными химикатами, включая HF, H₂SO₄, проявители, полировальные суспензии (CMP) и др. Рабочая температура от -20°C до +150°C, рабочее давление до 0,6 МПа (возможно исполнение под высокое давление).
5. Класс чистоты: Изготовлен в чистых производственных помещениях класса 10000. Внутренние проточные каналы имеют гладкую поверхность без "мертвых зон", что соответствует требованиям чистых помещений класса 100/1000 и стандарту чистоты ISO 14644-1.
1. Безопасная герметичная подача: Двухпортовая конструкция обеспечивает полное разделение жидкостного и газового трактов, поддерживает подачу под давлением N₂ и выравнивание уровня жидкости. Многоступенчатая система уплотнений исключает утечки и испарения. Соответствует стандарту безопасности для полупроводникового оборудования SEMI S2-0716.
2. Высокая чистота и отсутствие загрязнений: Отсутствие выделения ионов металлов исключает загрязнение технологических сред, гарантируя высокий выход годной продукции в полупроводниковом производстве. Адаптирован для требований передовых технологических процессов.
3. Удобство и эффективность эксплуатации: Быстросъемные соединения обеспечивают подключение/отключение одним движением без использования инструментов. Встроенный запорный клапан гарантирует безкапельное отключение, значительно повышая эффективность смены бочек и обслуживания.
4. Гибкость настройки и адаптация: Возможность изготовления нестандартных размеров, типов соединений и материалов в зависимости от типа бочки, вида среды и технологических требований. Обеспечивает быструю интеграцию в существующие жидкостные системы.
5. Долговечность и надежность: Материалы, устойчивые к сильнокоррозионным средам, обеспечивают длительную стабильную работу в жестких технологических условиях, снижая затраты на обслуживание и риск простоев.
1. Системы дозирования химикатов (CDS) и шкафы временной подачи на заводах по производству полупроводниковых пластин и плоскоэкранных дисплеев.
2. Забор и подача химикатов в ключевых технологических процессах, таких как химико-механическая планаризация (CMP), травление, проявление.
3. Сценарии транспортировки химикатов малыми партиями и с множественными циклами в лабораториях и на пилотных линиях.
4. Переключение химических трубопроводов и управление байпасными линиями при технологическом обслуживании и модернизации оборудования.