Продукция
Двухходовой клапан
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для управления потоком сильнокоррозионных химикатов (вкл./выкл.). Является ключевым компонентом систем дозирования химикатов (CDS), шкафов временной подачи и технологических трубопроводов.
Описание
маркер
Ключевое позиционирование
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для управления потоком сильнокоррозионных химикатов (вкл./выкл.). Является ключевым компонентом систем дозирования химикатов (CDS), шкафов временной подачи и технологических трубопроводов.
Ключевые технические параметры
1. Конструкция: Двухпроходной клапан проходного типа с ручной Т-образной рукояткой управления. На рукоятку нанесены обозначения "S" (закрыто) и "O" (открыто) для четкой индикации состояния.
2. Присоединение: Оба конца оснащены наружной резьбой (возможно исполнение с соединениями под развальцовку, с шаровым наконечником или под сварку). Обеспечивает удобный монтаж и надежную герметизацию.
3. Герметичность: Цельнолитое седло клапана в паре с прецизионно обработанным запорным элементом обеспечивают нулевую утечку. Уровень герметичности по гелиевому течеискателю: < 1×10⁻⁹ mbar·л/с.
4. Область применения: Рабочая температура от -20°C до +150°C, рабочее давление до 0,6 МПа (возможно исполнение под высокое давление). Совместим со всеми типами сильнокоррозионных химикатов.
5. Класс чистоты: Изготовлен в чистых производственных помещениях класса 10000. Гладкая поверхность без "мертвых зон" соответствует требованиям чистых помещений класса 100/1000 и стандарту чистоты ISO 14644-1.
Преимущества продукта
1. Высокая коррозионная стойкость: Устойчив к воздействию практически всех сильнокоррозионных химикатов. Обеспечивает длительную стабильную работу в жестких технологических условиях, без разрушения материала и выделения примесей.
2. Высокая чистота и отсутствие загрязнений: Отсутствие выделения ионов металлов исключает загрязнение технологических сред, гарантируя высокий выход годной продукции в полупроводниковом производстве. Соответствует стандарту безопасности для полупроводникового оборудования SEMI S2-0716.
3. Удобство и надежность эксплуатации: Конструкция с Т-образной рукояткой обеспечивает малый крутящий момент при управлении. Четкая индикация состояния клапана эффективно предотвращает ошибки оператора и повышает эффективность обслуживания.
4. Герметичность и отсутствие утечек: Сочетание цельнолитого седла и прецизионного запорного элемента гарантирует отсутствие утечек в течение всего срока службы, исключая остановки технологического процесса и угрозы безопасности.
5. Гибкость адаптации: Поддерживаются различные типы присоединений и возможность изготовления нестандартных размеров. Обеспечивает быструю интеграцию в существующие трубопроводные системы и адаптацию к различным технологическим сценариям.
Области применения
1. Системы дозирования химикатов (CDS) и шкафы временной подачи на заводах по производству полупроводниковых пластин и плоскоэкранных дисплеев.
2. Управление потоками жидкостей в ключевых технологических процессах, таких как химико-механическая планаризация (CMP), травление, проявление.
3. Сценарии транспортировки химикатов малыми партиями и с множественными циклами в лабораториях и на пилотных линиях.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Система сбора и утилизации химических отходов
Система сбора и утилизации химических отходов предназначена для обеспечения комплексной безопасности при управлении жидкими опасными отходами на всех этапах. Благодаря автоматизированному и интеллектуальному проектированию система обеспечивает эффективный сбор, раздельное хранение, безопасную изоляцию и соответствующую нормативным требованиям утилизацию отходов, сводя к минимуму угрозы безопасности, связанные с ручным вмешательством.
Взрывозащищенный воздушный клапан
Взрывозащитный воздушный клапан состоит из корпуса клапана, механизма автоматического закрывания и устройства ручного взвода. Предназначен для изоляции воздуховодов в химических передаточных модулях и других герметичных объемах с потенциально взрывоопасной средой. Представляет собой нормально открытый механизм перекрытия воздуховода, пригодный для использования как на приточных, так и на вытяжных системах вентиляции.
Транспортировочная платформа из нержавеющей стали для круглых химических бочек
Данная транспортировочная платформа из нержавеющей стали круглой формы, предназначенная для круглых химических емкостей (например, барабанов с кислотами и щелочами, бочек из нержавеющей стали), специально разработана для использования в полупроводниковой, химической и других отраслях промышленности.
Система подачи и распределения суспензии
Система подачи и распределения суспензии широко используется в таких областях, как производство интегральных микросхем. Её основная функция заключается в подаче суспензии в точном соотношении для технологического процесса, обеспечивая равномерное распределение жидкости при обработке заготовок, что способствует повышению качества продукции и эффективности производства.
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой — это специализированное оборудование для перемещения химикатов с винтовым приводом, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для безопасной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Одношкафный блок управления подачей химикатов
Являясь центральным контроллером систем распределения химикатов (CDS) и суспензий (SDS), применяется в прецизионных производственных процессах, таких как производство полупроводников и дисплеев, для точной подачи и интеллектуального контроля агрессивных химических сред.
Ключ для открывания бочек
Прецизионный контроль усилия: Динамометрический ключ обеспечивает точную настройку и фиксацию усилия затяжки, гарантируя равномерное и надежное усилие фиксации критически важных компонентов, исключая риски утечек или повреждения деталей из-за недостаточной или чрезмерной затяжки.
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением CDS представляет собой специально разработанное для условий полупроводникового производства решение по взрывозащите, основанное на поддержании избыточного давления. За счет создания внутри шкафа среды с избыточным давлением обеспечивается эффективная изоляция от внешних взрывоопасных газов и пыли, гарантируя безопасную эксплуатацию прецизионных электронных компонентов в опасных зонах.
Трехходовой клапан
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для переключения направления потока и управления подачей сильнокоррозионных химикатов (вкл./выкл.). Является ключевым компонентом систем дозирования химикатов (CDS), шкафов временной подачи и технологических трубопроводов.
Гидравлическая тележка для бочек с кислотой
Тележка с гидравлическим подъемником для бочек с кислотой — это специализированное гидравлическое оборудование для перемещения химикатов, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для эффективной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Передвижной двухблочный шкаф для подачи химикатов
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для безопасного хранения и бесшовного переключения подачи высокочистых коррозионных химикатов (например, фоторезистов, полировальных суспензий CMP, травителей). Является ключевым компонентом системы дозирования химикатов (CDS).
VMB Клапанный распределительный шкаф
Представляет собой систему распределения химических растворов, специально разработанную для производства полупроводниковых пластин. Обеспечивает высокоточное распределение высокочистых химикатов (таких как травители, очистители и др.) посредством группы многоходовых клапанов.
Штуцер для бочки
Поддерживает модульную компоновку с одним / двумя портами (выдача жидкости + подача газа). Погружная трубка имеет скошенный или перфорированный наконечник, обеспечивающий полное опорожнение бочки, предотвращая остатки жидкости и завоздушивание.
FFU2
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из нержавеющей стали 304 или 316 для удовлетворения строгих требований к высокой чистоте, гигиеничности и долговечности в сложных условиях эксплуатации.
Двухклапанный штуцер с донной трубкой для бочки
Широко используется в производстве полупроводников, плоскоэкранных дисплеев и других отраслях в составе систем дозирования химикатов (CDS) или шкафов временной подачи для безопасной подачи сильнокоррозионных химикатов, таких как HF, H₂SO₄, проявители и др.
Система дозирования химикатов
Полупроводниковая CDS (система распределения химических веществ) является ключевой системой подачи высокочистых химикатов в производстве микросхем, обеспечивающей стабильную подачу таких реагентов, как травильные и очищающие растворы, за счет автоматизированного управления.
