Продукция
Одношкафный блок управления подачей химикатов
Являясь центральным контроллером систем распределения химикатов (CDS) и суспензий (SDS), применяется в прецизионных производственных процессах, таких как производство полупроводников и дисплеев, для точной подачи и интеллектуального контроля агрессивных химических сред.
Описание
маркер
Основное назначение
Являясь центральным контроллером систем распределения химикатов (CDS) и суспензий (SDS), применяется в прецизионных производственных процессах, таких как производство полупроводников и дисплеев, для точной подачи и интеллектуального контроля агрессивных химических сред.
Основные технические параметры
1. Материал: Корпус выполнен из коррозионностойких материалов, таких как полипропилен или нержавеющая сталь. Поверхность гладкая, легко очищается, не имеет застойных зон, устойчива к воздействию сильнокоррозионных сред.
2. Способ управления: Сенсорная панель HMI + программируемый логический контроллер. Поддерживает управление множеством рецептур, точную регулировку расхода, давления и временных параметров.
3. Конфигурация безопасности: Оснащен кнопкой аварийной остановки, датчиками давления, детекторами утечек и другими средствами многоуровневой защиты. Соответствует стандарту безопасности для полупроводникового оборудования SEMI S2-0716.
4. Конструктивное исполнение: Одноблочная модульная компоновка. В верхней части предусмотрены подготовленные патрубки для подключения трубопроводов. В нижней части установлены регулируемые опоры, обеспечивающие устойчивость оборудования и удобство технического обслуживания.
5. Область применения: Чистые помещения класса 100 / 1000, совместим с подачей различных высокочистых технологических химикатов.
Преимущества продукта
1. Интеллектуальное и точное управление: Обеспечивает визуализированный контроль всего процесса через сенсорный экран, позволяет точно регулировать ключевые параметры, такие как расход и давление, гарантируя стабильность процесса и высокий процент выхода годной продукции.
2. Надежность и безопасность: Конструкция с коррозионностойким корпусом и герметичными трубопроводами эффективно предотвращает утечки химикатов. Многоуровневые механизмы защитной блокировки обеспечивают быстрое отключение системы в аварийных ситуациях.
3. Чистота и адаптация: Общее конструктивное исполнение соответствует требованиям к оборудованию для чистых помещений, исключая загрязнение технологических сред микрочастицами и примесями, что соответствует стандарту чистоты ISO 14644-1.
4. Удобство эксплуатации и обслуживания: Модульная конструкция облегчает быстрое обслуживание и замену компонентов. Регулируемые опоры делают установку и очистку оборудования более эффективными.
5. Соответствие стандартам: Отвечает отраслевым стандартам безопасности, таким как SEMI S2, что позволяет успешно проходить строгие проверки и сертификацию у заказчика.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Передвижной двухблочный шкаф для подачи химикатов
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для безопасного хранения и бесшовного переключения подачи высокочистых коррозионных химикатов (например, фоторезистов, полировальных суспензий CMP, травителей). Является ключевым компонентом системы дозирования химикатов (CDS).
FFU2
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из нержавеющей стали 304 или 316 для удовлетворения строгих требований к высокой чистоте, гигиеничности и долговечности в сложных условиях эксплуатации.
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой — это специализированное оборудование для перемещения химикатов с винтовым приводом, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для безопасной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Ключ для открывания бочек
Прецизионный контроль усилия: Динамометрический ключ обеспечивает точную настройку и фиксацию усилия затяжки, гарантируя равномерное и надежное усилие фиксации критически важных компонентов, исключая риски утечек или повреждения деталей из-за недостаточной или чрезмерной затяжки.
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением CDS представляет собой специально разработанное для условий полупроводникового производства решение по взрывозащите, основанное на поддержании избыточного давления. За счет создания внутри шкафа среды с избыточным давлением обеспечивается эффективная изоляция от внешних взрывоопасных газов и пыли, гарантируя безопасную эксплуатацию прецизионных электронных компонентов в опасных зонах.
Штуцер для бочки
Поддерживает модульную компоновку с одним / двумя портами (выдача жидкости + подача газа). Погружная трубка имеет скошенный или перфорированный наконечник, обеспечивающий полное опорожнение бочки, предотвращая остатки жидкости и завоздушивание.
Система распределения специальных газов
Электронные специальные газы являются незаменимым базовым вспомогательным исходным материалом в таких областях, как оптоэлектроника и микроэлектроника, особенно в производстве сверхбольших интегральных схем, жидкокристаллических дисплеев, тонкопленочных солнечных батарей из аморфного кремния, полупроводниковых светоизлучающих приборов и полупроводниковых материалов.
Система подачи и распределения суспензии
Система подачи и распределения суспензии широко используется в таких областях, как производство интегральных микросхем. Её основная функция заключается в подаче суспензии в точном соотношении для технологического процесса, обеспечивая равномерное распределение жидкости при обработке заготовок, что способствует повышению качества продукции и эффективности производства.
Двухклапанный штуцер с донной трубкой для бочки
Широко используется в производстве полупроводников, плоскоэкранных дисплеев и других отраслях в составе систем дозирования химикатов (CDS) или шкафов временной подачи для безопасной подачи сильнокоррозионных химикатов, таких как HF, H₂SO₄, проявители и др.
VMB Клапанный распределительный шкаф
Представляет собой систему распределения химических растворов, специально разработанную для производства полупроводниковых пластин. Обеспечивает высокоточное распределение высокочистых химикатов (таких как травители, очистители и др.) посредством группы многоходовых клапанов.
FFU1
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из легкого и коррозионностойкого полипропилена. Адаптирован для применения в чистых средах с высокими требованиями к химической стабильности, таких как полупроводниковая и фармацевтическая промышленность.
Двухходовой клапан
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для управления потоком сильнокоррозионных химикатов (вкл./выкл.). Является ключевым компонентом систем дозирования химикатов (CDS), шкафов временной подачи и технологических трубопроводов.
Гидравлическая тележка для бочек с кислотой
Тележка с гидравлическим подъемником для бочек с кислотой — это специализированное гидравлическое оборудование для перемещения химикатов, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для эффективной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Взрывозащищенный воздушный клапан
Взрывозащитный воздушный клапан состоит из корпуса клапана, механизма автоматического закрывания и устройства ручного взвода. Предназначен для изоляции воздуховодов в химических передаточных модулях и других герметичных объемах с потенциально взрывоопасной средой. Представляет собой нормально открытый механизм перекрытия воздуховода, пригодный для использования как на приточных, так и на вытяжных системах вентиляции.
Тележка с ручным гидравлическим зажимом для бочек с кислотой
Тележка с ручным гидравлическим зажимом для бочек с кислотой — это высокоэффективное оборудование для перемещения химикатов, специально разработанное для химической, полупроводниковой и других отраслей промышленности. Она предназначена для погрузки и разгрузки химических бочек и других емкостей на поддоны, а также для их транспортировки на короткие расстояния.
Система сбора и утилизации химических отходов
Система сбора и утилизации химических отходов предназначена для обеспечения комплексной безопасности при управлении жидкими опасными отходами на всех этапах. Благодаря автоматизированному и интеллектуальному проектированию система обеспечивает эффективный сбор, раздельное хранение, безопасную изоляцию и соответствующую нормативным требованиям утилизацию отходов, сводя к минимуму угрозы безопасности, связанные с ручным вмешательством.
