Продукция
Система подачи и распределения суспензии
Система подачи и распределения суспензии широко используется в таких областях, как производство интегральных микросхем. Её основная функция заключается в подаче суспензии в точном соотношении для технологического процесса, обеспечивая равномерное распределение жидкости при обработке заготовок, что способствует повышению качества продукции и эффективности производства.
Описание
маркер
Описание продукта
Система подачи и распределения суспензии широко используется в таких областях, как производство интегральных микросхем. Её основная функция заключается в подаче суспензии в точном соотношении для технологического процесса, обеспечивая равномерное распределение жидкости при обработке заготовок, что способствует повышению качества продукции и эффективности производства. В производстве интегральных микросхем система подачи и распределения суспензии применяется не только при изготовлении чипов на пластинах диаметром 200 мм и более, но и для других типоразмеров, а также для обеспечения потребности в подаче суспензии при проведении научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ и в серийном производстве.
Данная система использует технологию высокоточного контроля расхода, реализуя динамическое смешивание суспензии и деионизированной воды с точностью дозирования до ±0,5% за счет регулировки по замкнутому циклу с обратной связью. Оснащенная многоступенчатыми фильтрующими модулями, система эффективно задерживает частицы размером более 0,5 мкм, гарантируя, что чистота суспензии соответствует стандарту SEMI C12. Интеллектуальная система компенсации давления автоматически корректирует давление подачи в зависимости от нагрузки полировальной головки, контролируя колебания давления в пределах ±2%, что обеспечивает равномерность обработки. Система поддерживает 8 независимых каналов подачи, каждый из которых оснащен отдельным расходомером и электромагнитным клапаном, что позволяет одновременно удовлетворять потребности в подаче суспензии для различных технологических участков. Благодаря центральному блоку управления реализованы функции управления рецептурами, отслеживания истории параметров и сигнализации о нештатных ситуациях; система поддерживает бесшовную интеграцию с производственной исполнительной системой предприятия, обеспечивая сбор и анализ производственных данных в реальном времени.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Одношкафный блок управления подачей химикатов
Являясь центральным контроллером систем распределения химикатов (CDS) и суспензий (SDS), применяется в прецизионных производственных процессах, таких как производство полупроводников и дисплеев, для точной подачи и интеллектуального контроля агрессивных химических сред.
Система сбора и утилизации химических отходов
Система сбора и утилизации химических отходов предназначена для обеспечения комплексной безопасности при управлении жидкими опасными отходами на всех этапах. Благодаря автоматизированному и интеллектуальному проектированию система обеспечивает эффективный сбор, раздельное хранение, безопасную изоляцию и соответствующую нормативным требованиям утилизацию отходов, сводя к минимуму угрозы безопасности, связанные с ручным вмешательством.
Транспортировочная платформа из нержавеющей стали для круглых химических бочек
Данная транспортировочная платформа из нержавеющей стали круглой формы, предназначенная для круглых химических емкостей (например, барабанов с кислотами и щелочами, бочек из нержавеющей стали), специально разработана для использования в полупроводниковой, химической и других отраслях промышленности.
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением CDS представляет собой специально разработанное для условий полупроводникового производства решение по взрывозащите, основанное на поддержании избыточного давления. За счет создания внутри шкафа среды с избыточным давлением обеспечивается эффективная изоляция от внешних взрывоопасных газов и пыли, гарантируя безопасную эксплуатацию прецизионных электронных компонентов в опасных зонах.
VMB Клапанный распределительный шкаф
Представляет собой систему распределения химических растворов, специально разработанную для производства полупроводниковых пластин. Обеспечивает высокоточное распределение высокочистых химикатов (таких как травители, очистители и др.) посредством группы многоходовых клапанов.
Взрывозащищенный воздушный клапан
Взрывозащитный воздушный клапан состоит из корпуса клапана, механизма автоматического закрывания и устройства ручного взвода. Предназначен для изоляции воздуховодов в химических передаточных модулях и других герметичных объемах с потенциально взрывоопасной средой. Представляет собой нормально открытый механизм перекрытия воздуховода, пригодный для использования как на приточных, так и на вытяжных системах вентиляции.
FFU1
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из легкого и коррозионностойкого полипропилена. Адаптирован для применения в чистых средах с высокими требованиями к химической стабильности, таких как полупроводниковая и фармацевтическая промышленность.
Двухклапанный штуцер с донной трубкой для бочки
Широко используется в производстве полупроводников, плоскоэкранных дисплеев и других отраслях в составе систем дозирования химикатов (CDS) или шкафов временной подачи для безопасной подачи сильнокоррозионных химикатов, таких как HF, H₂SO₄, проявители и др.
FFU2
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из нержавеющей стали 304 или 316 для удовлетворения строгих требований к высокой чистоте, гигиеничности и долговечности в сложных условиях эксплуатации.
Гидравлическая тележка для бочек с кислотой
Тележка с гидравлическим подъемником для бочек с кислотой — это специализированное гидравлическое оборудование для перемещения химикатов, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для эффективной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Тележка с ручным гидравлическим зажимом для бочек с кислотой
Тележка с ручным гидравлическим зажимом для бочек с кислотой — это высокоэффективное оборудование для перемещения химикатов, специально разработанное для химической, полупроводниковой и других отраслей промышленности. Она предназначена для погрузки и разгрузки химических бочек и других емкостей на поддоны, а также для их транспортировки на короткие расстояния.
Передвижной двухблочный шкаф для подачи химикатов
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для безопасного хранения и бесшовного переключения подачи высокочистых коррозионных химикатов (например, фоторезистов, полировальных суспензий CMP, травителей). Является ключевым компонентом системы дозирования химикатов (CDS).
Транспортировочная тележка с регулируемой конструкцией для химических барабанов из нержавеющей стали
Транспортировочная тележка с регулируемой конструкцией для химических барабанов из нержавеющей стали — это чистое транспортировочное оборудование для химикатов, специально разработанное для полупроводниковой, химической и других отраслей промышленности. Она предназначена в основном для безопасной транспортировки и позиционирования химических барабанов и других емкостей.
Ключ для открывания бочек
Прецизионный контроль усилия: Динамометрический ключ обеспечивает точную настройку и фиксацию усилия затяжки, гарантируя равномерное и надежное усилие фиксации критически важных компонентов, исключая риски утечек или повреждения деталей из-за недостаточной или чрезмерной затяжки.
Трехходовой клапан
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для переключения направления потока и управления подачей сильнокоррозионных химикатов (вкл./выкл.). Является ключевым компонентом систем дозирования химикатов (CDS), шкафов временной подачи и технологических трубопроводов.
Система дозирования химикатов
Полупроводниковая CDS (система распределения химических веществ) является ключевой системой подачи высокочистых химикатов в производстве микросхем, обеспечивающей стабильную подачу таких реагентов, как травильные и очищающие растворы, за счет автоматизированного управления.
