Продукция
Трехходовой клапан
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для переключения направления потока и управления подачей сильнокоррозионных химикатов (вкл./выкл.). Является ключевым компонентом систем дозирования химикатов (CDS), шкафов временной подачи и технологических трубопроводов.
Описание
маркер
Ключевое позиционирование
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для переключения направления потока и управления подачей сильнокоррозионных химикатов (вкл./выкл.). Является ключевым компонентом систем дозирования химикатов (CDS), шкафов временной подачи и технологических трубопроводов.
Ключевые технические параметры
1. Конструкция: Трехходовой клапан, поддерживающий переключение потока по схемам "один вход - два выхода" или "два входа - один выход". Управление осуществляется ручной Т-образной рукояткой с четкой индикацией состояния клапана (направления потока).
2. Присоединение: Три порта могут быть изготовлены с различными типами соединений: наружная резьба, под развальцовку, с шаровым наконечником или под сварку. Адаптируется к различным трубопроводным системам, обеспечивая удобный монтаж и надежную герметизацию.
3. Герметичность: Цельнолитое седло клапана в паре с прецизионно обработанным запорным элементом обеспечивают нулевую утечку. Уровень герметичности по гелиевому течеискателю: < 1×10⁻⁹ mbar·л/с.
4. Область применения: Рабочая температура от -20°C до +150°C, рабочее давление до 0,6 МПа (возможно исполнение под высокое давление). Совместим со всеми типами сильнокоррозионных химикатов.
5. Класс чистоты: Изготовлен в чистых производственных помещениях класса 10000. Внутренние проточные каналы имеют гладкую поверхность без "мертвых зон", что соответствует требованиям чистых помещений класса 100/1000 и стандарту чистоты ISO 14644-1.
Преимущества продукта
1. Гибкое переключение потоков: Поддерживает различные схемы управления потоком, позволяя осуществлять разделение, смешивание или байпасное переключение среды, адаптируясь к сложным технологическим требованиям.
2. Высокая коррозионная стойкость: Устойчив к воздействию практически всех сильнокоррозионных химикатов. Обеспечивает длительную стабильную работу в жестких технологических условиях, без разрушения материала и выделения примесей.
3. Высокая чистота и отсутствие загрязнений: Отсутствие выделения ионов металлов исключает загрязнение технологических сред, гарантируя высокий выход годной продукции в полупроводниковом производстве. Соответствует стандарту безопасности для полупроводникового оборудования SEMI S2-0716.
4. Удобство и надежность эксплуатации: Конструкция с Т-образной рукояткой обеспечивает малый крутящий момент при управлении. Четкая индикация состояния клапана эффективно предотвращает ошибки оператора и повышает эффективность обслуживания.
5. Герметичность и отсутствие утечек: Сочетание цельнолитого седла и прецизионного запорного элемента гарантирует отсутствие утечек в течение всего срока службы, исключая остановки технологического процесса и угрозы безопасности.
6. Гибкость адаптации: Поддерживаются различные типы присоединений и возможность изготовления нестандартных размеров. Обеспечивает быструю интеграцию в существующие трубопроводные системы и адаптацию к различным технологическим сценариям.
Области применения
1. Системы дозирования химикатов (CDS) и шкафы временной подачи на заводах по производству полупроводниковых пластин и плоскоэкранных дисплеев.
2. Управление потоками жидкостей в ключевых технологических процессах, таких как химико-механическая планаризация (CMP), травление, проявление.
3. Сценарии транспортировки химикатов малыми партиями и с множественными циклами в лабораториях и на пилотных линиях.
4. Переключение химических трубопроводов и управление байпасными линиями при технологическом обслуживании и модернизации оборудования.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Тележка с ручным гидравлическим зажимом для бочек с кислотой
Тележка с ручным гидравлическим зажимом для бочек с кислотой — это высокоэффективное оборудование для перемещения химикатов, специально разработанное для химической, полупроводниковой и других отраслей промышленности. Она предназначена для погрузки и разгрузки химических бочек и других емкостей на поддоны, а также для их транспортировки на короткие расстояния.
Передвижной двухблочный шкаф для подачи химикатов
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для безопасного хранения и бесшовного переключения подачи высокочистых коррозионных химикатов (например, фоторезистов, полировальных суспензий CMP, травителей). Является ключевым компонентом системы дозирования химикатов (CDS).
Штуцер для бочки
Поддерживает модульную компоновку с одним / двумя портами (выдача жидкости + подача газа). Погружная трубка имеет скошенный или перфорированный наконечник, обеспечивающий полное опорожнение бочки, предотвращая остатки жидкости и завоздушивание.
Система распределения специальных газов
Электронные специальные газы являются незаменимым базовым вспомогательным исходным материалом в таких областях, как оптоэлектроника и микроэлектроника, особенно в производстве сверхбольших интегральных схем, жидкокристаллических дисплеев, тонкопленочных солнечных батарей из аморфного кремния, полупроводниковых светоизлучающих приборов и полупроводниковых материалов.
Двухклапанный штуцер с донной трубкой для бочки
Широко используется в производстве полупроводников, плоскоэкранных дисплеев и других отраслях в составе систем дозирования химикатов (CDS) или шкафов временной подачи для безопасной подачи сильнокоррозионных химикатов, таких как HF, H₂SO₄, проявители и др.
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением CDS представляет собой специально разработанное для условий полупроводникового производства решение по взрывозащите, основанное на поддержании избыточного давления. За счет создания внутри шкафа среды с избыточным давлением обеспечивается эффективная изоляция от внешних взрывоопасных газов и пыли, гарантируя безопасную эксплуатацию прецизионных электронных компонентов в опасных зонах.
Транспортировочная платформа из нержавеющей стали для круглых химических бочек
Данная транспортировочная платформа из нержавеющей стали круглой формы, предназначенная для круглых химических емкостей (например, барабанов с кислотами и щелочами, бочек из нержавеющей стали), специально разработана для использования в полупроводниковой, химической и других отраслях промышленности.
FFU1
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из легкого и коррозионностойкого полипропилена. Адаптирован для применения в чистых средах с высокими требованиями к химической стабильности, таких как полупроводниковая и фармацевтическая промышленность.
VMB Клапанный распределительный шкаф
Представляет собой систему распределения химических растворов, специально разработанную для производства полупроводниковых пластин. Обеспечивает высокоточное распределение высокочистых химикатов (таких как травители, очистители и др.) посредством группы многоходовых клапанов.
Система дозирования химикатов
Полупроводниковая CDS (система распределения химических веществ) является ключевой системой подачи высокочистых химикатов в производстве микросхем, обеспечивающей стабильную подачу таких реагентов, как травильные и очищающие растворы, за счет автоматизированного управления.
Емкость из HDPE для приготовления растворов
Емкость из полиэтилена высокой плотности для приготовления растворов — это сверхчистая химическая емкость, специально разработанная для полупроводникового производства, предназначенная главным образом для хранения и транспортировки влажных электронных химикатов.
Система подачи и распределения суспензии
Система подачи и распределения суспензии широко используется в таких областях, как производство интегральных микросхем. Её основная функция заключается в подаче суспензии в точном соотношении для технологического процесса, обеспечивая равномерное распределение жидкости при обработке заготовок, что способствует повышению качества продукции и эффективности производства.
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой — это специализированное оборудование для перемещения химикатов с винтовым приводом, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для безопасной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Гидравлическая тележка для бочек с кислотой
Тележка с гидравлическим подъемником для бочек с кислотой — это специализированное гидравлическое оборудование для перемещения химикатов, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для эффективной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Двухходовой клапан
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для управления потоком сильнокоррозионных химикатов (вкл./выкл.). Является ключевым компонентом систем дозирования химикатов (CDS), шкафов временной подачи и технологических трубопроводов.
Система сбора и утилизации химических отходов
Система сбора и утилизации химических отходов предназначена для обеспечения комплексной безопасности при управлении жидкими опасными отходами на всех этапах. Благодаря автоматизированному и интеллектуальному проектированию система обеспечивает эффективный сбор, раздельное хранение, безопасную изоляцию и соответствующую нормативным требованиям утилизацию отходов, сводя к минимуму угрозы безопасности, связанные с ручным вмешательством.
