Продукция
FFU2
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из нержавеющей стали 304 или 316 для удовлетворения строгих требований к высокой чистоте, гигиеничности и долговечности в сложных условиях эксплуатации.
Описание
маркер
Основное назначение
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из нержавеющей стали 304 или 316 для удовлетворения строгих требований к высокой чистоте, гигиеничности и долговечности в сложных условиях эксплуатации.
Основные технические параметры
● Система фильтрации: Оснащен высокоэффективными HEPA и ULPA фильтрами. Эффективность фильтрации составляет не менее 99,999% для частиц размером 0,3 мкм, что соответствует стандарту чистоты ISO 14644-1. Двухступенчатая фильтрация с предварительным и высокоэффективным фильтрами обеспечивает высокую пылеемкость и увеличенный срок службы.
● Характеристики воздушного потока: Уникальный бесщеточный двигатель переменного тока обеспечивает равномерную подачу воздуха со скоростью 0,45 м/с с отклонением не более 20%. Остаточное давление внешнего вентилятора составляет не менее 80 Па, что позволяет эффективно преодолевать сопротивление циркуляционного воздуховода.
● Интеллектуальное управление: Оснащен интеллектуальной системой управления с частотным регулированием, поддерживающей многоступенчатое или бесступенчатое регулирование скорости для точного соответствия технологическим требованиям.
● Конструкционные материалы: Корпус выполнен из нержавеющей стали, защитная сетка из полипропилена, фильтровальная бумага из PTFE. Конструкция отличается прочностью, устойчивостью к царапинам и легкостью очистки.
● Эксплуатационные показатели: Уровень шума при работе не более 52 дБ, что соответствует стандарту безопасности для полупроводникового оборудования SEMI S2-0716.
● Монтаж и зона покрытия: Модульная конструкция обеспечивает гибкую установку на потолке, стене или полу. Площадь покрытия одним блоком может достигать 2,5 м².
Преимущества продукта
● Высокая чистота и долговечность: Корпус из нержавеющей стали с бесшовной сваркой имеет гладкую поверхность, легко очищается и не имеет зон, недоступных для санитарной обработки. Идеально подходит для сцен с высокими гигиеническими требованиями, таких как фармацевтическая и пищевая промышленность.
● Коррозионная стойкость и ударопрочность: Материал из нержавеющей стали 304 или 316 устойчив к воздействию кислот и щелочей, а также к ударам, обеспечивая длительную стабильную работу в условиях повышенной влажности и коррозионной среды.
● Высокая эффективность очистки: Фильтровальная бумага из PTFE в сочетании с высокоэффективными HEPA и ULPA фильтрами гарантирует поддержание класса чистоты 100 / 1000, исключая влияние микрочастиц.
● Энергоэффективность и низкий уровень шума: Бесщеточный двигатель переменного тока в паре с интеллектуальным частотным регулированием позволяет снизить энергопотребление до 30% по сравнению с традиционными моделями. Уровень шума при работе не превышает 52 дБ, создавая комфортную технологическую среду.
● Гибкость адаптации: Завод-изготовитель может изготовить оборудование любого нестандартного размера. Раздельная конструкция, состоящая из вентиляторного модуля и фильтра, упрощает техническое обслуживание и удовлетворяет разнообразные требования к чистым помещениям.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой — это специализированное оборудование для перемещения химикатов с винтовым приводом, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для безопасной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Транспортировочная платформа из нержавеющей стали для круглых химических бочек
Данная транспортировочная платформа из нержавеющей стали круглой формы, предназначенная для круглых химических емкостей (например, барабанов с кислотами и щелочами, бочек из нержавеющей стали), специально разработана для использования в полупроводниковой, химической и других отраслях промышленности.
Транспортировочная тележка с регулируемой конструкцией для химических барабанов из нержавеющей стали
Транспортировочная тележка с регулируемой конструкцией для химических барабанов из нержавеющей стали — это чистое транспортировочное оборудование для химикатов, специально разработанное для полупроводниковой, химической и других отраслей промышленности. Она предназначена в основном для безопасной транспортировки и позиционирования химических барабанов и других емкостей.
Двухходовой клапан
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для управления потоком сильнокоррозионных химикатов (вкл./выкл.). Является ключевым компонентом систем дозирования химикатов (CDS), шкафов временной подачи и технологических трубопроводов.
VMB Клапанный распределительный шкаф
Представляет собой систему распределения химических растворов, специально разработанную для производства полупроводниковых пластин. Обеспечивает высокоточное распределение высокочистых химикатов (таких как травители, очистители и др.) посредством группы многоходовых клапанов.
Передвижной двухблочный шкаф для подачи химикатов
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для безопасного хранения и бесшовного переключения подачи высокочистых коррозионных химикатов (например, фоторезистов, полировальных суспензий CMP, травителей). Является ключевым компонентом системы дозирования химикатов (CDS).
Взрывозащищенный воздушный клапан
Взрывозащитный воздушный клапан состоит из корпуса клапана, механизма автоматического закрывания и устройства ручного взвода. Предназначен для изоляции воздуховодов в химических передаточных модулях и других герметичных объемах с потенциально взрывоопасной средой. Представляет собой нормально открытый механизм перекрытия воздуховода, пригодный для использования как на приточных, так и на вытяжных системах вентиляции.
Штуцер для бочки
Поддерживает модульную компоновку с одним / двумя портами (выдача жидкости + подача газа). Погружная трубка имеет скошенный или перфорированный наконечник, обеспечивающий полное опорожнение бочки, предотвращая остатки жидкости и завоздушивание.
Двухклапанный штуцер с донной трубкой для бочки
Широко используется в производстве полупроводников, плоскоэкранных дисплеев и других отраслях в составе систем дозирования химикатов (CDS) или шкафов временной подачи для безопасной подачи сильнокоррозионных химикатов, таких как HF, H₂SO₄, проявители и др.
Система дозирования химикатов
Полупроводниковая CDS (система распределения химических веществ) является ключевой системой подачи высокочистых химикатов в производстве микросхем, обеспечивающей стабильную подачу таких реагентов, как травильные и очищающие растворы, за счет автоматизированного управления.
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением CDS представляет собой специально разработанное для условий полупроводникового производства решение по взрывозащите, основанное на поддержании избыточного давления. За счет создания внутри шкафа среды с избыточным давлением обеспечивается эффективная изоляция от внешних взрывоопасных газов и пыли, гарантируя безопасную эксплуатацию прецизионных электронных компонентов в опасных зонах.
Гидравлическая тележка для бочек с кислотой
Тележка с гидравлическим подъемником для бочек с кислотой — это специализированное гидравлическое оборудование для перемещения химикатов, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для эффективной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Система распределения специальных газов
Электронные специальные газы являются незаменимым базовым вспомогательным исходным материалом в таких областях, как оптоэлектроника и микроэлектроника, особенно в производстве сверхбольших интегральных схем, жидкокристаллических дисплеев, тонкопленочных солнечных батарей из аморфного кремния, полупроводниковых светоизлучающих приборов и полупроводниковых материалов.
Система подачи и распределения суспензии
Система подачи и распределения суспензии широко используется в таких областях, как производство интегральных микросхем. Её основная функция заключается в подаче суспензии в точном соотношении для технологического процесса, обеспечивая равномерное распределение жидкости при обработке заготовок, что способствует повышению качества продукции и эффективности производства.
FFU1
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из легкого и коррозионностойкого полипропилена. Адаптирован для применения в чистых средах с высокими требованиями к химической стабильности, таких как полупроводниковая и фармацевтическая промышленность.
Система сбора и утилизации химических отходов
Система сбора и утилизации химических отходов предназначена для обеспечения комплексной безопасности при управлении жидкими опасными отходами на всех этапах. Благодаря автоматизированному и интеллектуальному проектированию система обеспечивает эффективный сбор, раздельное хранение, безопасную изоляцию и соответствующую нормативным требованиям утилизацию отходов, сводя к минимуму угрозы безопасности, связанные с ручным вмешательством.
