Полупроводниковая CDS (система распределения химических веществ) является ключевой системой подачи высокочистых химикатов в производстве микросхем, обеспечивающей стабильную подачу таких реагентов, как травильные и очищающие растворы, за счет автоматизированного управления.

Система подачи и распределения суспензии широко используется в таких областях, как производство интегральных микросхем. Её основная функция заключается в подаче суспензии в точном соотношении для технологического процесса, обеспечивая равномерное распределение жидкости при обработке заготовок, что способствует повышению качества продукции и эффективности производства.

Электронные специальные газы являются незаменимым базовым вспомогательным исходным материалом в таких областях, как оптоэлектроника и микроэлектроника, особенно в производстве сверхбольших интегральных схем, жидкокристаллических дисплеев, тонкопленочных солнечных батарей из аморфного кремния, полупроводниковых светоизлучающих приборов и полупроводниковых материалов.

Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением CDS представляет собой специально разработанное для условий полупроводникового производства решение по взрывозащите, основанное на поддержании избыточного давления. За счет создания внутри шкафа среды с избыточным давлением обеспечивается эффективная изоляция от внешних взрывоопасных газов и пыли, гарантируя безопасную эксплуатацию прецизионных электронных компонентов в опасных зонах.

Представляет собой систему распределения химических растворов, специально разработанную для производства полупроводниковых пластин. Обеспечивает высокоточное распределение высокочистых химикатов (таких как травители, очистители и др.) посредством группы многоходовых клапанов.

Система сбора и утилизации химических отходов предназначена для обеспечения комплексной безопасности при управлении жидкими опасными отходами на всех этапах. Благодаря автоматизированному и интеллектуальному проектированию система обеспечивает эффективный сбор, раздельное хранение, безопасную изоляцию и соответствующую нормативным требованиям утилизацию отходов, сводя к минимуму угрозы безопасности, связанные с ручным вмешательством.