Продукция
VMB Клапанный распределительный шкаф
Представляет собой систему распределения химических растворов, специально разработанную для производства полупроводниковых пластин. Обеспечивает высокоточное распределение высокочистых химикатов (таких как травители, очистители и др.) посредством группы многоходовых клапанов.
Описание
маркер
Описание продукта
Представляет собой систему распределения химических растворов, специально разработанную для производства полупроводниковых пластин. Обеспечивает высокоточное распределение высокочистых химикатов (таких как травители, очистители и др.) посредством группы многоходовых клапанов. Поддерживает конфигурацию с 2-4 каналами под заказ, удовлетворяя строгие требования мокрых процессов, таких как травление, очистка и химико-механическая планаризация. Интегрированный модуль стабилизации давления (отклонение ≤ ±0,1 бар) предотвращает дефекты поверхности пластин, вызванные колебаниями давления, способствуя повышению процента выхода годной продукции.
Характеристики продукта
Высокосовместимые материалы: ПП или SUS, обладающие высокой коррозионной стойкостью. Совместимы со средами сильных кислот и щелочей, обеспечивая чистоту химических растворов ≥ 99,99%.
Датчики обнаружения утечек обеспечивают мониторинг в реальном времени. Время срабатывания клапана аварийного отключения (EMO) составляет менее 1 секунды для быстрой изоляции источника подачи.
Система вытяжной вентиляции с отрицательным давлением запускается автоматически, предотвращая распространение токсичных газов. Соответствует стандартам безопасности полупроводниковых производств.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением
Взрывозащищенный шкаф с избыточным давлением CDS представляет собой специально разработанное для условий полупроводникового производства решение по взрывозащите, основанное на поддержании избыточного давления. За счет создания внутри шкафа среды с избыточным давлением обеспечивается эффективная изоляция от внешних взрывоопасных газов и пыли, гарантируя безопасную эксплуатацию прецизионных электронных компонентов в опасных зонах.
Транспортировочная тележка с регулируемой конструкцией для химических барабанов из нержавеющей стали
Транспортировочная тележка с регулируемой конструкцией для химических барабанов из нержавеющей стали — это чистое транспортировочное оборудование для химикатов, специально разработанное для полупроводниковой, химической и других отраслей промышленности. Она предназначена в основном для безопасной транспортировки и позиционирования химических барабанов и других емкостей.
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой
Тележка с винтовым толкателем для бочек с кислотой — это специализированное оборудование для перемещения химикатов с винтовым приводом, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для безопасной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Система распределения специальных газов
Электронные специальные газы являются незаменимым базовым вспомогательным исходным материалом в таких областях, как оптоэлектроника и микроэлектроника, особенно в производстве сверхбольших интегральных схем, жидкокристаллических дисплеев, тонкопленочных солнечных батарей из аморфного кремния, полупроводниковых светоизлучающих приборов и полупроводниковых материалов.
Взрывозащищенный воздушный клапан
Взрывозащитный воздушный клапан состоит из корпуса клапана, механизма автоматического закрывания и устройства ручного взвода. Предназначен для изоляции воздуховодов в химических передаточных модулях и других герметичных объемах с потенциально взрывоопасной средой. Представляет собой нормально открытый механизм перекрытия воздуховода, пригодный для использования как на приточных, так и на вытяжных системах вентиляции.
Передвижной двухблочный шкаф для подачи химикатов
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для безопасного хранения и бесшовного переключения подачи высокочистых коррозионных химикатов (например, фоторезистов, полировальных суспензий CMP, травителей). Является ключевым компонентом системы дозирования химикатов (CDS).
Система сбора и утилизации химических отходов
Система сбора и утилизации химических отходов предназначена для обеспечения комплексной безопасности при управлении жидкими опасными отходами на всех этапах. Благодаря автоматизированному и интеллектуальному проектированию система обеспечивает эффективный сбор, раздельное хранение, безопасную изоляцию и соответствующую нормативным требованиям утилизацию отходов, сводя к минимуму угрозы безопасности, связанные с ручным вмешательством.
Одношкафный блок управления подачей химикатов
Являясь центральным контроллером систем распределения химикатов (CDS) и суспензий (SDS), применяется в прецизионных производственных процессах, таких как производство полупроводников и дисплеев, для точной подачи и интеллектуального контроля агрессивных химических сред.
Двухходовой клапан
Специализированное решение для прецизионных производственных сред, таких как производство полупроводников и плоскоэкранных дисплеев. Предназначен для управления потоком сильнокоррозионных химикатов (вкл./выкл.). Является ключевым компонентом систем дозирования химикатов (CDS), шкафов временной подачи и технологических трубопроводов.
Емкость из HDPE для приготовления растворов
Емкость из полиэтилена высокой плотности для приготовления растворов — это сверхчистая химическая емкость, специально разработанная для полупроводникового производства, предназначенная главным образом для хранения и транспортировки влажных электронных химикатов.
Гидравлическая тележка для бочек с кислотой
Тележка с гидравлическим подъемником для бочек с кислотой — это специализированное гидравлическое оборудование для перемещения химикатов, разработанное для полупроводниковых заводов. Она предназначена для эффективной транспортировки 200-литровых бочек с кислотами и щелочами, а также химических бочек из нержавеющей стали 304.
Тележка с ручным гидравлическим зажимом для бочек с кислотой
Тележка с ручным гидравлическим зажимом для бочек с кислотой — это высокоэффективное оборудование для перемещения химикатов, специально разработанное для химической, полупроводниковой и других отраслей промышленности. Она предназначена для погрузки и разгрузки химических бочек и других емкостей на поддоны, а также для их транспортировки на короткие расстояния.
FFU2
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из нержавеющей стали 304 или 316 для удовлетворения строгих требований к высокой чистоте, гигиеничности и долговечности в сложных условиях эксплуатации.
FFU1
Специально разработан для чистых помещений класса 100 / 1000, изготовлен из легкого и коррозионностойкого полипропилена. Адаптирован для применения в чистых средах с высокими требованиями к химической стабильности, таких как полупроводниковая и фармацевтическая промышленность.
Транспортировочная платформа из нержавеющей стали для круглых химических бочек
Данная транспортировочная платформа из нержавеющей стали круглой формы, предназначенная для круглых химических емкостей (например, барабанов с кислотами и щелочами, бочек из нержавеющей стали), специально разработана для использования в полупроводниковой, химической и других отраслях промышленности.
Система подачи и распределения суспензии
Система подачи и распределения суспензии широко используется в таких областях, как производство интегральных микросхем. Её основная функция заключается в подаче суспензии в точном соотношении для технологического процесса, обеспечивая равномерное распределение жидкости при обработке заготовок, что способствует повышению качества продукции и эффективности производства.
