
2026-05-22
● Технические параметры
Подходит для кислот, щелочей, растворителей, фоторезистов и паст для CMP; резервуары и трубопроводы изготовлены из нержавеющей стали 316L и высокочистого PFA; точность дозирования **±0,5%, рабочее давление 0,2–1,6 МПа, температура 5–45 °C; степень чистоты ISO 7 **; Интеллектуальное управление PLC, в стандартной комплектации: контроль уровня жидкости, утечек и давления, антистатическая защита, азотная герметизация, взрывозащита.
● Преимущества
Централизованное герметичное управление, безопасность, взрывозащита и защита от утечек; стабильные параметры растворов, повышение выхода готовой продукции; полностью автоматический режим работы, экономия трудозатрат и снижение потерь; высокочистые материалы, высокая степень чистоты, отсутствие загрязнений; упорядоченная компоновка, соответствие требованиям EHS.
● Сферы применения
Заводы по производству полупроводниковых пластин / упаковке и тестированию, процессы фотолитографии, травления, очистки и CMP; светодиоды, фотоэлектрические и фотоэлектронные панели; централизованная подача опасных химических растворов в лабораториях по разработке новых материалов, химической и электронной промышленности, а также в научно-исследовательских лабораториях.